CR系列潔凈室用半導體硅片/LCD基板水平搬運機械手

CR系列泛半導體設備用機械手是韓國Cyborg Lab公司設計生產的產品，主要用于潔凈室內大氣環境下半導體硅片或LCD玻璃基板的水平搬運。韓國Cyborg Lab公司擁有15年以上的半導體用機械手產品設計與生產經驗，產品質量穩定，性能可靠。CR系列硅片搬運機械手的主要特點如下：

 • 靈活可配置的模塊化設計

 • 重復定位精度優于0.05mm

 • 機身設計緊湊，占地面積小，滿足凈化室設備的使用要求

 • 潔凈度要求可達Class One

 • 可根據客戶要求進行定制設計

CR系列產品主要用于半導體硅片搬運、液晶面板搬運、LED硅片搬運、MEMS硅片搬運等領域，目前沈陽芯源、北京七星、上海新陽等客戶已經選用。